Metall-Isolator-Metall (MIM)-Systeme, Herstellung, Charakterisierung, Anwendung
Projektleitung und Mitarbeiter
Aichele, J., Benz, R., Boehme, O.,
Freygang, M., Herb, R., Hoch, J., Joensson, C. (Prof. Dr. rer. nat.),
Klueser, J., Martin, M., Oppermann, M., Schellin, G., Ziegler, W.,
gemeinsam mit: Dr. Maid, Dr. Bartha, Dr. Maid (IBM, Boeblingen),
Dr. Nisch (NMI, Reutlingen), Dr. Fromm (MPI fuer Materialforschung,
Stuttgart)
Forschungsbericht :
1990-1992
Tel./ Fax.:
Projektbeschreibung
Ziel der Untersuchungen ist, die Lebensdauer und
Stromdichte von MIM-Kathoden zu erhoehen und Anwendungen fuer diese
Systeme zu erschliessen.
Dazu werden spezielle
Schichtenherstellungsverfahren (Bekernung, ICBD) auf ihre Eignung zur
Erzeugung von duennen und ultraduennen, polykristallinen und
epitaktischen Schichten mit moeglichst planen Grenzflaechen
untersucht. Besonders interessiert auch die thermische Oxidation bei
Raumtemperatur; hierzu wurde eine umfangreiche Untersuchung
angestellt.
Fuer die Herstellung strukturierter MIM-Kathoden werden
spezielle Ionenaetzverfahren untersucht. Auf MIM-Basis wird ein
1:1-Maskenprojektor hergestellt.
Mittelgeber
Drittmittelfinanzierung: NMI (BMFT)
Publikationen
Martin, M.: Experimente mit der Schwingquarzwaage zur
Oxidation von Eisen-, Aluminium- und Titan-Filmen zwischen 50 °C und
200 °C und Modellrechnungen zur Raumtemperaturoxidation. -
Dissertation, Tuebingen 1992.
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- Stand: 15.09.96
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